凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。
對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路,而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。
隨著我國人民生活水平提高,人們對(duì)生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求,用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎,凈化工程技術(shù)已開始進(jìn)入千家萬戶,進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。
世界各工業(yè)先進(jìn)國家為適應(yīng)超凈技術(shù)的發(fā)展,對(duì)大量使用的高效過濾器的研究從未中斷,幾年來一直在開發(fā)不同結(jié)構(gòu)不同性能的新產(chǎn)品,美國自1979年開始研制0.1微米ULPA過濾器,1984年美國AAF公司開始生產(chǎn)0.1微米無隔板ULPA過濾器,目前0.1微米ULPA過濾器在美國AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生產(chǎn)。日本也已成為世界上生產(chǎn)0.1微米ULPA過濾器廠家最多的國家,品種繁多,產(chǎn)品系列化,尤其是低壓損型0.1微米ULPA過濾器的開發(fā)成功解決了初阻力大的技術(shù)難題。
在潔凈室建設(shè)規(guī)模和技術(shù)水平上,我國與先進(jìn)國家差距更大。日本清水建設(shè)公司一家,1982年到1987年期間承建的潔凈室面積達(dá)71.8萬平方米,而我國目前一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平方米,但八五期間有較大發(fā)展,1993年承建潔凈室總面積已接近15萬平方米。美國的潔凈室建設(shè)規(guī)模更大,1998年統(tǒng)計(jì)已達(dá)188.5萬平方米。
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